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壓電多維度掃描臺(tái),三維掃描運(yùn)動(dòng),兼容無磁高真空

簡(jiǎn)要描述:Sxxx.XYZ.C,壓電多維度掃描臺(tái),三維掃描運(yùn)動(dòng),兼容無磁高真空
緊湊型 “S 系列“ 標(biāo)準(zhǔn)版系,電容閉環(huán)控制

  • 產(chǎn)品型號(hào):Sxxx.XYZ.C
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2024-07-25
  • 訪  問  量:407

詳細(xì)介紹

壓電·二維/三維掃描運(yùn)動(dòng) Sxxx.XYZ.C

? 針對(duì)精密光學(xué)、半導(dǎo)體表征等“3自由度掃描運(yùn)動(dòng)”需求的定制化解決方案

 

 

三維度XYZ 掃描運(yùn)動(dòng) 100 um × 100 um × 100 um;200 um × 200 um × 200 um

外形尺寸, 55 mm × 55 mm × 40 mm

閉環(huán)定位精度優(yōu)于 1 nm;

支持無磁 (.NM) 和超高真空 (.UHV) 選件升級(jí);

 

壓電多維度掃描臺(tái),三維掃描運(yùn)動(dòng),兼容無磁高真空——詳細(xì)參數(shù):

 

 


壓電多維度掃描臺(tái),三維掃描運(yùn)動(dòng),兼容無磁高真空——尺寸圖

壓電掃描臺(tái),三維掃描運(yùn)動(dòng),兼容無磁高真空

 

多場(chǎng)科技“壓電掃描臺(tái)·緊湊型”解決方案主要包含:

S —— 掃描標(biāo)準(zhǔn)系列;

SD —— 高動(dòng)態(tài)系列;

SH —— 高負(fù)載系列。

S, SD & SH 系列覆蓋X軸單維度運(yùn)動(dòng)、Z軸單維度運(yùn)動(dòng)、XY軸雙維度運(yùn)動(dòng)和XYZ軸三維度運(yùn)動(dòng)等應(yīng)用場(chǎng)景,支持電容閉環(huán)傳感,可選無磁/高真空/超高真空選件升級(jí)。

 

 

 

 

 

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