XYZ三維壓電掃描臺(tái)，高負(fù)載，兼容高真空

簡(jiǎn)要描述：SH30.xyz.C，XYZ三維壓電掃描臺(tái)，高負(fù)載，兼容高真空
緊湊型 “SH 系列“ 高負(fù)載系列

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詳細(xì)介紹

壓電·三維掃描運(yùn)動(dòng) SH30.xyz.C

? 針對(duì)精密光學(xué)、半導(dǎo)體表征等“3自由度掃描運(yùn)動(dòng)"需求的定制解決方案

• 三維度XY掃描運(yùn)動(dòng) 30 um x 30 um x 15 um；

• 外形尺寸，160 mm x 160 mm x 35 mm；

• 閉環(huán)分辨率優(yōu)于 0.3 nm；

• 最大負(fù)載10 kg；

• 支持高真空 (.HV) 和超高真空 (.UHV) 選件升級(jí)；

XYZ三維壓電掃描臺(tái)，高負(fù)載，兼容高真空——詳細(xì)參數(shù)：

XYZ三維壓電掃描臺(tái)，高負(fù)載，兼容高真空——尺寸圖：

XYZ三維壓電掃描臺(tái)，高負(fù)載，兼容高真空

多場(chǎng)科技“壓電掃描臺(tái)·緊湊型"解決方案主要包含：

S —— 掃描標(biāo)準(zhǔn)系列；

SD —— 高動(dòng)態(tài)系列；

SH —— 高負(fù)載系列。

S, SD & SH 系列覆蓋X軸單維度運(yùn)動(dòng)、Z軸單維度運(yùn)動(dòng)、XY軸雙維度運(yùn)動(dòng)和XYZ軸三維度運(yùn)動(dòng)等應(yīng)用場(chǎng)景，支持電容閉環(huán)傳感，可選無磁/高真空/超高真空選件升級(jí)。

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