Lxxx.indus 系列·壓電線性運(yùn)動位移臺

極簡工業(yè)風(fēng)的運(yùn)動模塊

多自由度·納米級運(yùn)動也可以搭積

• 超安靜運(yùn)動，20 kHz驅(qū)動頻率；

• 極緊湊外形設(shè)計(jì)；

• 內(nèi)置集成光學(xué)位置傳感器；

• 30, 60, 100, 180mm多行程可選；

• 高負(fù)載，支持多種拼接案例；

• 閉環(huán)控制 · 空間傳感分辨率 2 nm；

• 最小步伐優(yōu)于 10 nm；

• 可提供多軸堆疊安裝轉(zhuǎn)接件；

• 支持無磁(.NM), 高真空(.HV)和超高真空(.UHV)選件；

• 控制器和Lab系列線性臺，旋轉(zhuǎn)臺和搖擺臺通用

L030.indus

尺寸：63 mm x 24 mm x 14 mm

行程：30 mm

L060.indus

尺寸：108 mm x 24 mm x 14 mm

行程：60 mm

L100.indus

尺寸：182 mm x 24 mm x 14 mm

行程：100 mm

L200.indus

尺寸：295 mm x 80 mm x 20 mm

行程：200 mm

壓電陶瓷位移臺線性運(yùn)動，兼容無磁高真空——詳細(xì)參數(shù)：

壓電陶瓷位移臺線性運(yùn)動，兼容無磁高真空——尺寸圖：

L030.indus

L060.indus

L100.indus

L150.indus

L200.indus