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壓電陶瓷位移臺，X軸掃描，兼容無磁高真空

簡要描述：Sxxx.X.C，壓電陶瓷位移臺，X軸掃描，兼容無磁高真空
緊湊型 “S 系列“ 標(biāo)準(zhǔn)版系，X 方向大行程

  • 產(chǎn)品型號：Sxxx.X.C
  • 廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
  • 更新時間：2024-06-20
  • 訪  問  量：315

詳細(xì)介紹

壓電·單維掃描運(yùn)動 Sxxx.X.C

? 標(biāo)準(zhǔn)單軸掃描運(yùn)動模塊，支持電容閉環(huán)控制


• X 方向運(yùn)動范圍 100-500 um；

• 外形尺寸，50 mm x 50 mm x 17 mm；

• 閉環(huán)定位精度優(yōu)于3 nm (開環(huán)版本可選)；

• 最大負(fù)載 500 g；

• 支持無磁 (.NM) 和高真空 (.UHV) 選件升級；

壓電陶瓷位移臺，X軸掃描，兼容無磁高真空——詳細(xì)參數(shù)：




壓電陶瓷位移臺，X軸掃描，兼容無磁高真空——尺寸圖：

壓電陶瓷位移臺，X軸掃描，兼容無磁高真空


多場科技“壓電掃描臺·緊湊型"解決方案主要包含：

S —— 掃描標(biāo)準(zhǔn)系列；

SD —— 高動態(tài)系列；

SH —— 高負(fù)載系列。

S, SD & SH 系列覆蓋X軸單維度運(yùn)動、Z軸單維度運(yùn)動、XY軸雙維度運(yùn)動和XYZ軸三維度運(yùn)動等應(yīng)用場景，支持電容閉環(huán)傳感，可選無磁/高真空/超高真空選件升級。




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